什么是真空热压机?生产厂商介绍结构与工作原理介绍

　　真空热压机是可以进行热压处理的机器，它是循环操作类型。温控范围可控、升级了温度控制设置程序，可以满足通不同气体下的中低高温键合，还可以满足在真空环境下的中低温退火;其中高低温键合和中低温退火过程中的温度是可以灵活设置和编程.用于玻璃、硅片、晶元、蓝宝石、石英等基材的中低高温键合

真空热压机

　　广泛用于硬质合金，功能陶瓷，粉末冶金等领域中，在高温高真空条件下进行热压和烧结。 它也可以充气在保护下，可以通过热压形成。那么真空热压机由什么结构组成呢，下面我们来看一下。

　　真空热压机的组成结构：

　　1、炉体为立式炉壳，其内层为不锈钢制成的圆筒，外层为碳钢。

　　2、真空系统：由油扩散泵、罗茨泵、机械泵配电磁压差阀(防止因突然停电、机械泵油倒灌)充气阀、放气阀、真空蝶阀、真空压力表(±Pa)波纹管、真空管路和支架等组成。

　　3、液压系统：采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器采用光栅尺(测距精度0.02mm)，仪表可设定自动调节压力，并能实现稳压、保压。

　　4、水冷系统：由各种阀管道相关装置组成且设有断水声光报警自动切断加热源或功能。

5吨真空热压机

　　5、温控系统：采用可控硅控温，配置有PID功能仪表，数显表，具有超温声光报警功能，也可选用PLC触摸屏自动控制，并保留历史数据，便于分析烧结过程。

　　6、充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有电磁放气阀、压力传感器，当炉内压力高于安全值时会自动放气，充气管路上装有针阀，可控制充气量 。

　　(1)气缸;(2)精密调压阀;(3)玻璃观察窗;(4)电源接口;(5)显示界面和参数设置界面;(6)真空表;(7)气压数显表;(8)密封圈;(9)进气口;(10)气源进口;

　　(11)真空抽气口。

小型真空热压机特征图解

　　*注：以上图案以实物为准，如有变动，请咨询厂商。

　　真空热压机工作原理

　　真空热压机由炉体、炉盖、保温桶、热压装置、发热体和电源、真空系统、水冷却系统及测温系统等组成.是一种可以开展热压解决的设备，为周期时间工作式，广泛运用于半导体焊接,大学院样材料实验,硬质合金刀具、功能瓷器、粉未冶金等在高温、高真空标准下开展热压煅烧解决，也可在充气维护状况下热压成型烧。

真空热压机水冷 气氛保护

　　产品特点

　　(1)使用恒温控制加热技术，温度控制精确;

　　(2)铝合金工作平台，上下面平整，热导速度快，热导均一;

　　(3)加热面积大，涵盖常用大小芯片;

　　(4)风冷降温，降温速率均一，有利于提高键合效果;

　　(5)压力精确可调，针对不同的基材选用不同的压力控制;

　　(6)采用独特的真空热压系统，在保证片材不被损坏的情况下大幅度提高键合成功率。

真空热压机外形尺寸

　　热压机技术参数

　　键合平台：230×200(长×宽)mm;

　　平台平行度：0.05mm;

　　可键合芯片厚度：0~140mm;

　　额定电压：AC220V/50HZ;

　　压力范围：0~3.5KN;

　　压力显示精度：±0.1KN

　　额定功率：1.4KW;

　　控温范围：室温~300℃;

桌面式真空热压机

　　温控精度：±1%(100℃以下±1℃);

　　上下板最大温差：3℃;

　　均匀升温速率：4℃/min(100℃以下);3℃/min(100℃~200℃);2℃/min(200℃以上);快速升温速率：10℃/min

　　支持温度编程段数：10段控温;

　　真空度：KPa级别

　　外接气氛接口：2×DN10

　　外形尺寸：470×415×876(长×宽×高)mm;

　　重量：80kg;

生产厂家设备展示

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