600摄氏度真空热压机

分享到:
来源:热压机制造商-邦企创源        发布时间:2021-02-19 17:16

  高温真空热压成型机是在真空(或其它气氛)条件下将材料热压成型的成套设备,主要采用不锈钢电阻丝加热,由气缸驱动的压头上下加压。用于玻璃、硅片、晶元、蓝宝石、石英等基材的中低高温键合,晶圆真空低温/室温直接键合设备。最高温度800度,控温精度±1-2%;最大压力3.5KN,热压尺寸128×200(长×宽)mm,开口尺寸150mm以内。

600摄氏度真空热压机图片
600摄氏度真空热压机图片

  一:复合材料真空热压机产品描述:

  1.本电炉为周期作业式,广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理,也可在充气保护情况下热压成形烧结。

  2.真空热压炉壳体、真空管道采用数控自动焊机焊接加工,焊缝光滑平整无虚焊夹砂现象发生,确保真空容器不会漏气,满足用户的技术要求。

  3.高度集成化的快接式电器联接,方便设备搬迁,出厂检验合格后所有管路及电缆已联接完毕,调试时只需对位插上,故安装方便,调试周期短,一次调试成功率100% 绝无差错。

  4.标准制作的电控柜,使用更安全,操作更方便;欧姆龙或施耐德品牌的电器元件,质量可靠,控制稳定;

伺服真空热压机图片
伺服真空热压机图片

  6.系统具有分类声光报警功能,易于判断故障原因。炉壳、炉盖等内表面均经精密抛光,光洁度优于点。

  7.用氦质谱真空检漏仪进行压升率指标检验,快速检测,数据真实可信。压机支架中心孔采用加工中心精密加工,确保加压时压头移动偏差更小,位移变化显示精度可达0.02mm。

  8.设备在加压烧结时具备自动加压、自动稳压及保压功能,进口压力调节器性能可靠,配有调速阀可调节加压速度。

  9.并具有压力波动小(≤±0.1MPa),数字信号输出,抗干扰性强的特

高温真空热压成型机正面图
高温真空热压成型机正面图

  二:真空高温热压机技术参数:

  1.炉子上限功率:10KW

  2.电压:220V 2相

  3.上限加热温度:850℃

  4.控温模式:智能PID 控温仪表 30段程序控温 过温、过流、断偶,有保护

  5.加热板尺寸:128×200mm

  6.压力:1T-10T

  7.有效工作尺寸(mm):128×200mm

高热传导陶瓷加热板图片
高热传导陶瓷加热板图片

  8.冷态腔体上限真空度:-0.09MPa

  9.空炉升压率:≤4Pa/h

  10.腔体充气压力:≤0.05MPa

  11.温度控制精度:+/- 1-2%

  12. 加压方式:单向加压

  13.温度检测方式: 铠装热电偶和红外测温仪

  14.上限升温速率;60℃/Min

  15.观察窗尺寸:150X150mm

  三:热压机使用操作指南

  设备操作应严格按照以下步骤进行:

  (1)检查真空热压键合机,真空泵和空气压缩机的电源线连接是否正确,检查各部分的气路管线连接是否正确,关闭系统每个部分的阀门和开关。

  (2)将需要键合的芯片放在工作平台(或相应夹具)中间位置,调整压板运行的行程,关闭舱门,打开真空泵,抽掉热压机内部的空气。

  (3)运行压板控制开关,确定芯片上受压的压力。

  (4)温度设定:在参数设置所需的温度。

  (5)升温设定:在参数设置所需的升温时间和温度保持时间。

热压机参数设定面板
热压机参数设定面板

  (6)阶段设定:在参数设置所需的键合温度阶段,可设置步骤10段。

  (7)点击运行上、下板加热按键,开始进行加热键合。

  (8)热压键合结束,停止上、下板加热按键,使加热板处于停止工作状态。

  (9)自然降温或连接氮气进行降温。

  (10)关闭热压机连接真空泵的手动阀,关掉真空泵。

  待温度降至50度以下后,点击停止压板开关,压板抬起,完成键合。

真空高温热压机腔体
真空高温热压机腔体

  热压机装箱清单

名称

单位

数量

ET-128200-1T真空热压

1

电源线

1

气管(外直径10mm

M

4

双抛玻璃(4英寸*4mm

2

质检报告

1

合格证

1

说明书

1

保修卡

1

  *注:清点包装箱内的附件和印刷资料,箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。

旋片式真空泵图片
旋片式真空泵图片

  选配附件设备

名称

单位

数量

空气压缩机

1

旋片式真空泵

1

真空管(内径14mm

M

1.8

  10专业制造商【厂家定制高温真空热压成型机,复合材料真空热压机,智能高温热压机、真空高温热压机】,质量好,广大客户的选择,高质量的小型非标,全自动热压机,秉承诚信为本,质优价廉,服务宗旨,采用先进的技术,质量可依据客户产品需求

全国统一服务热线:0755-82876856

地址:深圳市罗湖区翠山路63号西湖工业区2栋407

邮箱:sales@etool.cc

真空共晶热压键合机厂家-深圳邦企创源科技   地址:深圳市罗湖区翠山路63号西湖工业区2栋407     粤ICP备12007139号