600摄氏度真空热压机

　　高温真空热压成型机是在真空(或其它气氛)条件下将材料热压成型的成套设备,主要采用不锈钢电阻丝加热，由气缸驱动的压头上下加压。用于玻璃、硅片、晶元、蓝宝石、石英等基材的中低高温键合，晶圆真空低温/室温直接键合设备。最高温度800度，控温精度±1-2%;最大压力3.5KN,热压尺寸128×200(长×宽)mm，开口尺寸150mm以内。

600摄氏度真空热压机图片

　　一:复合材料真空热压机产品描述：

　　1.本电炉为周期作业式，广泛应用于硬质合金、功能陶瓷、粉末冶金等在高温、高真空条件下进行热压烧结处理，也可在充气保护情况下热压成形烧结。

　　2.真空热压炉壳体、真空管道采用数控自动焊机焊接加工，焊缝光滑平整无虚焊夹砂现象发生，确保真空容器不会漏气，满足用户的技术要求。

　　3.高度集成化的快接式电器联接，方便设备搬迁，出厂检验合格后所有管路及电缆已联接完毕，调试时只需对位插上，故安装方便，调试周期短，一次调试成功率100% 绝无差错。

　　4.标准制作的电控柜，使用更安全，操作更方便;欧姆龙或施耐德品牌的电器元件，质量可靠，控制稳定;

伺服真空热压机图片

　　6.系统具有分类声光报警功能，易于判断故障原因。炉壳、炉盖等内表面均经精密抛光，光洁度优于点。

　　7.用氦质谱真空检漏仪进行压升率指标检验，快速检测，数据真实可信。压机支架中心孔采用加工中心精密加工，确保加压时压头移动偏差更小，位移变化显示精度可达0.02mm。

　　8.设备在加压烧结时具备自动加压、自动稳压及保压功能，进口压力调节器性能可靠，配有调速阀可调节加压速度。

　　9.并具有压力波动小(≤±0.1MPa)，数字信号输出，抗干扰性强的特

高温真空热压成型机正面图

　　二:真空高温热压机技术参数：

　　1.炉子上限功率：10KW

　　2.电压：220V 2相

　　3.上限加热温度：850℃

　　4.控温模式：智能PID 控温仪表 30段程序控温 过温、过流、断偶，有保护

　　5.加热板尺寸：128×200mm

　　6.压力：1T-10T

　　7.有效工作尺寸(mm)：128×200mm

高热传导陶瓷加热板图片

　　8.冷态腔体上限真空度：-0.09MPa

　　9.空炉升压率：≤4Pa/h

　　10.腔体充气压力：≤0.05MPa

　　11.温度控制精度：+/- 1-2%

　　12. 加压方式：单向加压

　　13.温度检测方式： 铠装热电偶和红外测温仪

　　14.上限升温速率;60℃/Min

　　15.观察窗尺寸：150X150mm

　　三:热压机使用操作指南

　　设备操作应严格按照以下步骤进行：

　　(1)检查真空热压键合机，真空泵和空气压缩机的电源线连接是否正确，检查各部分的气路管线连接是否正确，关闭系统每个部分的阀门和开关。

　　(2)将需要键合的芯片放在工作平台(或相应夹具)中间位置，调整压板运行的行程，关闭舱门，打开真空泵，抽掉热压机内部的空气。

　　(3)运行压板控制开关，确定芯片上受压的压力。

　　(4)温度设定：在参数设置所需的温度。

　　(5)升温设定：在参数设置所需的升温时间和温度保持时间。

热压机参数设定面板

　　(6)阶段设定：在参数设置所需的键合温度阶段，可设置步骤10段。

　　(7)点击运行上、下板加热按键，开始进行加热键合。

　　(8)热压键合结束，停止上、下板加热按键，使加热板处于停止工作状态。

　　(9)自然降温或连接氮气进行降温。

　　(10)关闭热压机连接真空泵的手动阀，关掉真空泵。

　　待温度降至50度以下后，点击停止压板开关，压板抬起，完成键合。

真空高温热压机腔体

　　热压机装箱清单

　　*注：清点包装箱内的附件和印刷资料，箱内的附件和资料请按照装箱清单对照检查。

旋片式真空泵图片

　　选配附件设备

　　10专业制造商【厂家定制高温真空热压成型机,复合材料真空热压机,智能高温热压机、真空高温热压机】,质量好,广大客户的选择,高质量的小型非标,全自动热压机,秉承诚信为本,质优价廉,服务宗旨,采用先进的技术,质量可依据客户产品需求