高温真空热压机结构由那些组成?厂家详细介绍

　　真空热压机是一种可以开展热压解决的设备，为周期时间工作式，产品吨位：1t~50t.高温真空热压机广泛运用于半导体芯片,新型材料实验,硬质合金刀具、功能瓷器、粉未冶金等在高溫、高真空标准下开展热压煅烧解决，也可在充气维护状况下热压成型烧。那麼真空热压机由哪些结构构成呢，下边人们就看来一下。

高温真空热压机

　　一:真空热压机的构成结构：

　　1、真空腔体为立式炉壳，其里层为不锈钢板做成的圆桶，表层为碳素钢。

　　2、液压传动系统：选用电动式键入方法。由液压系统装有進口比例阀、液位传感器、偏移显示屏选用光栅尺(激光测距精密度0.02mm)，仪表盘可设置全自动调整工作压力，能够保持稳压管、保压。

　　3、真空系统软件：由油扩散泵、罗茨真空泵、机械泵配电磁感应压力差阀(避免因忽然断电、机械设备油泵倒流)充气阀、排气阀、真空碟阀、真空气压表(±Pa)金属波纹管、真空管道和支撑架等构成。

热压机真空腔体

　　4、温度控制系统软件：选用晶闸管温度控制，配备有PID功能仪表盘，数显表，具备过热声光报警器功能，也可采用PLC触摸显示屏自动控制系统，并保存历史记录，有利于解析煅烧全过程。

　　5、充气系统软件：由各种各样管路及闸阀构成，并装有电磁感应排气阀、液位传感器，当炉膛内工作压力高过安全值时候全自动放空气，充气管道上配有针型阀，可操纵充气量。

　　6、水冷散热系统软件：由各种各样阀管路有关设备构成且下设停水声光报警器全自动断开加温源或功能。

　　上面就是说真空热压机的构成结构。

真空热压机操作参数设定

　　二:高温真空热压机操作指南

　　设备操作应严格按照以下步骤进行：

　　(1)检查真空热压键合机，真空泵和空气压缩机的电源线连接是否正确，检查各部分的气路管线连接是否正确，关闭系统每个部分的阀门和开关。

　　(2)将需要键合的芯片放在工作平台(或相应夹具)中间位置，调整压板运行的行程，关闭舱门，打开真空泵，抽掉热压机内部的空气。

　　(3)运行压板控制开关，确定芯片上受压的压力。

　　(4)温度设定：在参数设置所需的温度。

　　(5)升温设定：在参数设置所需的升温时间和温度保持时间。

实验室真空热压机结构图

　　(6)阶段设定：在参数设置所需的键合温度阶段，可设置步骤10段。

　　(7)点击运行上、下板加热按键，开始进行加热键合。

　　(8)热压键合结束，停止上、下板加热按键，使加热板处于停止工作状态。

　　(9)自然降温或连接氮气进行降温。

　　(10)关闭热压机连接真空泵的手动阀，关掉真空泵。

　　(11)待温度降至50度以下后，点击停止压板开关，压板抬起，完成键合。

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